NS3600 高速3D激光共聚焦显微镜

Nanoscope System NS3600三维激光共聚焦显微镜

NS-3600是一款高速共聚焦激光扫描显微镜（CLSM），可用于可靠的3维（3D）测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。

这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案，例如半导体晶圆，FPD产品，MEMS器件，玻璃基板和材料表面。

Features & Benefits（性能及优势）：

高分辨无损伤光学3D测量                             自动倾斜补偿

实时共焦成像                                                简单的数据分析模式

多种光学变焦                                                双Z扫描

大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

自动聚焦

Application field（应用领域）：

NS-3600是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如

-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析